滕羽仪透射电镜 扫描电镜

纳瑞科技（北京）有限公司(Ion Beam Technology Co.,Ltd.)成立于2006年，是由在聚焦离子束（扫描离子显微镜）应用技术领域有着多年经验的技术骨干创立而成。

透射电镜扫描电镜：实现高分辨率显微镜下的电子显微镜

摘要

透射电镜扫描电镜（透射式扫描电镜，透射式电子显微镜，透射式成像系统）是一种高分辨率、高灵敏度的电子显微镜，可对各类材料进行表面形貌和结构成分的成像。透射电镜扫描电镜通过将电子束从样品的表面射入，利用样品对电子束的衍射和吸收特性，实现对样品的成像。本文对透射电镜扫描电镜的工作原理、特点和应用进行了综述。

一、透射电镜扫描电镜的工作原理

透射电镜扫描电镜成像系统主要由透射式扫描电镜、样品台、XYZ三轴移动装置、电子枪、滤光片、偏振器等部件组成。

1. 透射式扫描电镜

透射式扫描电镜是一种使用电子束成像的电子显微镜。它的工作原理是将电子束从样品表面射入，透过样品时被样品表面形貌和结构成分所散射和吸收。透射式扫描电镜的成像原理可以分为以下几个步骤：

(1) 电子束从样品表面射入；

(2) 电子束经过样品时，受到样品表面形貌和结构成分的散射和吸收；

(3) 透射式扫描电镜通过探测器接收电子束成像信号，生成电子显微镜的图像。

2. 样品台

样品台用于固定和支撑待成像的样品。样品台的移动和固定可以实现对不同角度、不同方向的样品的成像。

3. XYZ三轴移动装置

XYZ三轴移动装置用于控制样品台的移动和固定。通过调整三轴的移动，可以实现对样品的不同角度和方向进行成像。

4. 电子枪

电子枪是透射电镜扫描电镜产生电子束的装置。电子枪产生的电子束经过滤光片、偏振器等部件处理后，形成适合成像的电子束。

5. 滤光片

滤光片用于对电子束进行滤波和偏振处理，以提高成像分辨率和对比度。

6. 偏振器

偏振器用于对电子束进行偏振处理，使得成像时只接收与偏振器相同偏振方向的电子束，从而提高成像质量。

二、透射电镜扫描电镜的特点

透射电镜扫描电镜具有以下特点：

1. 高分辨率

透射电镜扫描电镜的分辨率远高于传统扫描电镜，可达到纳米级别。

2. 高灵敏度

透射电镜扫描电镜对样品的反应更加灵敏，有利于对薄片样品和生物大分子的成像。

3. 宽景深

透射电镜扫描电镜具有宽景深，能够在一定程度上还原样品的真实形貌。

4. 可视化

透射电镜扫描电镜成像后的样品可以进行实时观察和分析，实现对样品的可视化。

三、透射电镜扫描电镜的应用

透射电镜扫描电镜在材料、生物医学、纳米科技等领域具有广泛的应用前景：

1. 材料研究

透射电镜扫描电镜可以用于观察和分析材料的微观结构，为材料科学和工程的研究提供重要手段。

2. 生物医学研究

透射电镜扫描电镜可以在生物医学领域用于观察和分析生物大分子的结构和功能，为药物研发和疾病诊断提供重要依据。

3. 纳米科技

透射电镜扫描电镜可以用于研究纳米材料的形貌、尺寸和表面性质，为纳米科技的发展提供关键支持。

总结

透射电镜扫描电镜作为一种高分辨率、高灵敏度的电子显微镜，具有广泛的应用前景。通过透射电镜扫描电镜的研究和应用，可以为材料的微观结构、生物医学和纳米科技等领域的研究提供有力支持。