滕羽仪离子注入工艺

离子注入工艺是一种用于制备高纯度无机非晶体的关键技术。离子注入工艺是将离子或原子注入到晶体中形成掺杂或掺杂缺陷的制备方法。这种技术可以用于制备各种类型的无机非晶体,如氧化物、氮化物、碳化物等。离子注入...

2024-03-24 10:58:11283

聚焦离子束